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A
液体局部温度起伏会引起成像质量恶化
B
为了减少液体对光线的吸收,液层厚度不能太大
C
以纯水为介质时,可以选取任意波长紫外光为光源
D
可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光,提高成像分辨率
正确答案 :C
解析
13.【答案]C。金标尺解析:科技常识。
A项正确,液体温度的变化将引起折射率的改变。如果液体温度变化不均匀,会导致像面聚焦偏移和球差的改变。在曝光系统中,焦面的偏移可由调焦调平系统校正,然而局部的温度起伏将引起局部的成像质量恶化。
B项正确,光刻机的生产率与照明光的透射率成正比,因此为了减小液体对光线的吸收,液体层的厚度不能太大。
C项错误,在光的大多数波段水的折射率为1.33左右,而在193nm附近,水的折射率高达1.437,因此为满足高折射率和高透射系数的要求,应使用水作为193nm附近光刻的浸没液体,不能任意选择波长。D项正确,浸入式技术利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨率,其缩短的信率即为液体介质的折射率。因此,折射率越高的液体就可以得到波长更短的光,提高成像分辨率。
【备注:本题D项说法不严谨,注入高折射率的液体改变的应是光的波长,而非频率。]
故本题答案为C项。
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